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元,刻蚀深宽比极高——孔深可达10微米,孔径仅约100纳米,对腔体温控的要求近乎苛刻:晶圆表面温差超过2摄氏度,良品率便会急剧恶化。行业机构指出,东陶是低温介电刻蚀工具(用于3D NAND沟道孔刻蚀)静电吸盘的主要供应商,使用的是在极低温下保持稳定的特殊陶瓷材料。 &nbs 市场地位与竞争格局 当前文章:http://pz6y.ngzpfcw.cn/f9vmbn/me5gzur.htm 发布时间:01:11:11 |

